氣鎮(zhèn)真空泵的作用原理
經(jīng)氣鎮(zhèn)閥放入適量的非可凝性氣體到泵的壓縮區(qū)，
泵工作中。以降低被抽氣體中可凝性蒸氣在泵內(nèi)凝結(jié)程動平衡儀度的機械真空泵叫氣鎮(zhèn)泵。
用旋片泵抽除含有大量可凝性真氣時，壓縮排氣階段，當可凝真氣的分壓逾越該溫度下的飽和蒸氣壓時，蒸氣就凝結(jié)。凝結(jié)的液體與泵油混合循環(huán)至低壓側(cè)時，由于壓力降低，液體就會蒸發(fā)，使泵的極限壓力上升，并影響泵的抽氣性能，因此一般旋片泵不能抽除含有蒸氣的混合氣體。為改善泵抽除蒸氣的性能，泵的排氣側(cè)裝有稱為氣鎮(zhèn)閥的摻氣裝置，可定時將一定量的空氣放入壓縮區(qū)，振動分析儀使混合氣體在壓縮到推開排氣閥壓力時，蒸氣分壓仍小于該溫度下可凝蒸氣的飽和壓力，因而蒸氣不會凝結(jié)，并能隨其他氣體一起被排至泵外。
一般氣鎮(zhèn)泵只能抽除進氣口水蒸氣分壓≤3000Pa氣體，大于3000Pa水蒸氣不能靠氣鎮(zhèn)泵抽除。

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