質(zhì)譜是不同質(zhì)量的粒子在電磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)后，測(cè)振儀按照質(zhì)量大小將它們一次分開(kāi)排列的技術(shù)。利用質(zhì)譜原理制造的儀器叫質(zhì)譜儀或質(zhì)譜計(jì)。專(zhuān)為檢漏用的質(zhì)譜儀叫質(zhì)譜檢漏儀。由于多數(shù)示漏氣體選擇用氨氣，所以允許把分辨率調(diào)試得較低而靈敏度調(diào)得很高。氦質(zhì)譜檢漏儀是目前國(guó)家工人、測(cè)振儀用得*廣，靈敏度很高的一種檢漏儀器，其中用得*多的是90°和180°磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜儀；近些年來(lái)，四極質(zhì)譜計(jì)在檢漏中也得到了較多的應(yīng)用。20世紀(jì)60年代，我國(guó)氦質(zhì)譜檢漏儀性能已達(dá)到******。在以后的四十多年中，使用檢漏技術(shù)的應(yīng)用水平有了長(zhǎng)足發(fā)展，測(cè)振儀儀器的自動(dòng)化、小型化、可靠性等也有了很大的提高，不僅滿(mǎn)足了國(guó)內(nèi)需要，而且還銷(xiāo)往國(guó)外。氦質(zhì)譜檢漏儀除靈敏度高外，還具有適應(yīng)范圍廣，定位定量準(zhǔn)確、無(wú)毒、**、反應(yīng)速度快等特點(diǎn)
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